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在製程開始的前,中,後 監控Chamber情況
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用於检测颁丑补尘产别谤中的异常情况,检查製程开始之前和製程中的状况,并预测维护时间
产物型錄
Capacitance Manometer
VG-200S
Vapor Concentration Monitor
IR-300
Gas Monitor
IR-400
Quadrupole Mass Analyzer
MICROPOLE System QL Series
Optical Emission Spectroscopy
EV2.0
Infrared Thermometer
IT-270
IT-480
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