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光纤

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在製造光纤時,等離子氣體控制對於此過程至關重要。 蓝鲸体育直播的流量測量和控制技術用於精確、重複地控制這些氣體的流量。為了製造,光纤製造商可以使用透過發泡器系統或加熱輸送的 POCl3、SiCl4 和 GeCl4。汽化過程的精確且可重複的控制取決於發泡器/加熱的精確操作以及氣體量的嚴格控制。

蓝鲸体育直播 的旗艦产物 SEC-Z500X 系列可控制高達 500slm 的流量,與我們的高溫 SEC-8000 系列 MFC 結合,是這些關鍵製程氣體精確流量控制的完美解決方案。

Baking SystemLSC Series
(Compact Baking System)
SEC-8000 F/D/E (MFC)  
Injection SystemLE Series (Vaporizer)LF-F/LV Series
(Liquid MFC)
SEC-N100 Series (MFC) 
Bubbling SystemIR-300
(Vapor Concentration Monitor)
UR-Z700 Series
(Pressure Regulator)
SEC-N100 Series (MFC)SEC-Z500X (MFC)
Liquid Auto Refill SystemLU Series   

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