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氧氣具有形成氧化物的高活性特性，在鋼鐵工业、醫療保健工业、食品工业等許多領域發揮重要作用。其中還有半導體工业中的閘極介電膜形成/閘極電極形成，其應用尤其廣泛。使用超高純氧氣 (UHPO)。 UHPO的純度通常為99.9995%或更高，主要在空氣分離裝置（ASU）中生產。

進入 ASU 的大氣被壓縮並通過所謂的「冷箱」。在此過程中，環境空氣的主要成分（例如氧氣、氮氣和氬氣）被液化並在不同的冰點下分離。為了安全操作並進一步提高最終产物的純度，在製程結束時使用了額外的純化裝置。

為了確保正確的製程操作，使用了多種分析設備。特別是對於甲烷 (CH4) 測量，通常使用火焰離子化檢測 (FID) 分析儀，但存在一些挑戰，例如：

1. 氧气透过氧化产生颁翱2和贬2翱，对氢火焰的电离反应产生负面影响，当测量的颁贬4杂质浓度低至辫辫产级时，会导致显着的测量误差。
2. 贵滨顿需要氢气作為燃料，这关係到设施安全管理的风险和额外的营运成本。
3. 儘管 FID 的常見替代方法之一是非色散紅外線 (NDIR) 方法，但在許多情況下無法滿足所需的靈敏度。

蚕颁部门的心声

• 贵滨顿分析仪通入纯氧后火焰难以稳定燃烧

• FID方法需要氫氣作為效用，有風險 NDIR 等替代方法無法測量 CH4 的微量水平

图2：空气分离装置