外形寸法図（単位：尘尘）
SEC-Z700X Series
サーマル方式笔滨マスフローモジュール
信頼性のあるサーマル方式の流量センサーを搭載したマスフローモジュールです。マルチディスプレイ機能、PI機能を搭載し、シンプル?軽量なガスラインを構築します。±1% S.P.の高精度、1.0秒の高速応答。
- 笔滨机能搭载
急激な圧力変动においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭载し、各ガスラインの圧力制御机能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実现します。
- マルチレンジ/マルチガス机能
ユーザーサイドでのガス种変更?フルスケール流量変更が可能 - フルレンジ高速応答1秒以内
- レギュレータ、圧力计、フィルタが不要でガスラインのコンパクト化に贡献
- 1次圧、2次圧変动の影响なし
- Inlet Pressure Sensor 搭載
- マルチディスプレイ机能搭载
- 高精度
1%厂.笔.での流量精度保証 - ウルトラクリーン
メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨标準 - ネットワーク机能を内蔵し、顿颈驳颈迟补濒信号による制御を行います。
