外形寸法図?他（単位：尘尘）
HF-700A
微量フッ酸浓度モニター
ウェットプロセスにおける硫酸?過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理用の微量フッ酸浓度モニターです。
エッチングプロセス后のポリマー残渣物の除去に効果的な役割を果たす硫酸?过酸化水素?微量フッ酸中のフッ酸浓度管理を辫辫尘オーダーにて安定して连続测定できるため、効果的なプロセス管理を行うことができます。
安定した连続测定を実现
自動中和機能により連続的に試料水を中和し、さらに独創技術で開発したフッ化物イオン电极を用いることで、硫酸?過酸化水素中の微量フッ酸濃度の連続測定を実現しました。
用途に応じて选べる测定モード
応答速度を優先した通常モード（NORMAL MODE）と試薬の消費量を節約する試薬節約モード（ECO MODE）を選択できます。また、リアルタイムに濃度を測定する連続測定のほか、間欠測定も選択して運転可能です。
自动校正机能搭载
モニター前面のタッチパネルや外部入力信号により、自动校正が可能です。
薬品交换频度の低减
中和液の2タンク自动切换え机能搭载により、薬品交换サイクルを低减しています。
