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HE-960H-TM-S

高精度罢惭础贬浓度モニター

現像液TMAHの濃度管理に最適な高精度罢惭础贬浓度モニターです。

耐薬性の高いカーボンセンサーを採用し、フォトレジスト现像液の主成分罢惭础贬溶液の高精度测定が可能です。

 

COND薬液浓度

交流フリー電源(100~240V)伝送出力接点出力単成分

事业セグメント: Semiconductor
製品分类: Wet Process Control
製造会社: 蓝鲸体育直播 Advanced Techno Co., Ltd.

高精度

濃度:0 - 3%、導電率: 0 - 1000 mS/cm、繰り返し性 ±0.003wt%以内でTMAH濃度測定が可能

表示レンジ自动切替

高浓度から低浓度まで表示レンジを自动で切り替えします。また、有効な导电率分解能を维持しながら、変化をモニターすることも可能です。

3种测定

罢惭础贬浓度?导电率?温度の3种类の测定が可能です。

浓度换算机能

薬液浓度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。

 

型式HE-960H-TM-S
薬液种TMAH
测定范囲濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm
繰り返し性+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて)
直线性+/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて)
伝送出力4点
接点出力5点
通信出力RS-485
电源仕様24V DC +/- 10% 10W
适合センサFES-510 Series
センサ接液部材质GC, PFA, Karletz?

 

外形寸法図?他(単位:尘尘)

お问い合わせ

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