型式 | HE-960H-TM-S |
---|---|
薬液种 | TMAH |
测定范囲 | 濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm |
繰り返し性 | +/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて) |
直线性 | +/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて) |
伝送出力 | 4点 |
接点出力 | 5点 |
通信出力 | RS-485 |
电源仕様 | 24V DC +/- 10% 10W |
适合センサ | FES-510 Series |
センサ接液部材质 | GC, PFA, Karletz? |