蓝鲸体育直播

PV Series

ピエゾバルブ

外部机器からの制御信号を用いて、ガス流量または圧力制御するための高速応答バルブです。メタルダイヤフラム、メタル翱-リング採用。接ガス部はオールメタル构造でウルトラクリーン対応です。ガスだけでなく、液体の流体制御も可能。

 

事业セグメント: Semiconductor
製品分类: Fluid Control
製造会社: 蓝鲸体育直播 STEC, Co., Ltd.
  • ウルトラクリーン対応:オールメタル构造を採用
  • 微小流量から大流量までの流体制御が可能
  • 高温対応モデルラインアップ:笔痴-1000厂/2000厂タイプ
  • 搁辞贬厂指令适合

 

 

PV-1000
流量レンジ1/5/100/200/500 CCM
1/2/5 LM (入口大気圧、出口真空、N2换算)
流量制御范囲フルスケールの2?100%
バルブ方式ノーマルオープン/クローズ型
制御入力10?5VDC
応答性0.5秒以内
使用温度0?50℃
使用圧力MAX.300kPa
耐圧1MPa
リーク规格5×10-12Pa?m3(He)
PV-2000
流量レンジ10/20 LM (入口大気圧、出口真空、N2换算)
流量制御范囲フルスケールの2?100%
バルブ方式ノーマルオープン/クローズ型
制御入力10?5VDC
応答性0.5秒以内
使用温度0?50℃
使用圧力MAX.300kPa
耐圧1MPa
リーク规格5×10-12Pa?m3(He)

 

外形寸法図?他(単位:尘尘)

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process

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