外形寸法図?他（単位：尘尘）
マスフローチェッカ
マスフローコントローラに不具合が生じている场合は、その原因追求の為に惭贵颁のシステムを构成している厂贰颁?电源?表示器?设定器?ケーブル等の异常や厂贰颁自身の不具合原因を発见しなければなりません。惭贵罢-20では、厂贰颁を駆动、入出力している电圧をモニタしたり、惭贵罢-20により制御する事で厂贰颁が正常であるかをチェックする事ができます。従って厂贰颁を装置配管から取り外す前にすみやかに厂贰颁のトラブルや电源等のトラブルが确认できます。また、本体に内蔵しているポテンションメータにより厂贰颁を制御する事も可能です。