FS-3000 Series
サーマルフロースプリッタ
半导体、ディスプレイ、太阳电池などの製造プロセスにて、チャンバに导入するプロセスガスを、任意の比率に分配するフロースプリッタです。
事业セグメント: Semiconductor
製品分类: Fluid Control
- 拡张性/メンテナンス性の向上
マスターコントローラとマスフローコントローラで构成されており、最大15分岐まで拡张が可能です。
マスフローコントローラ単体の交换ができるため、メンテナンス、仕様変更、修理が容易です。
- 幅広い流量レンジに対応
マスフローコントローラの组み合わせにより、低差圧から大流量まで幅広い流量レンジに対応しています。
- 面内均一性によるウェハの品质向上
同じ浓度のガスをフロースプリッタで分岐することにより、ウェハの面内均一性を向上させることができ、品质向上に贡献します。
