| 製品名 | 薬液浓度モニタ | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | CS-620F | ||||
| 测定原理 | 吸収分光法 | ||||
| 浓度算出原理 | 温度补偿型多変量解析法 | ||||
| 测定対象 | H3PO4/H2O | ||||
| 测定范囲? 再现性精度 | 成分名 | 测定范囲(尘补蝉蝉%) | 再现性精度(mass%) | アナログ出力范囲(尘补蝉蝉%) | |
| 第1薬液 | H3PO4 | 85.00-92.00 | +/-0.10 | 85.00-100.00 | |
| H2O | 8.0-15.0 | +/-0.3 | 0.0-15.0 | ||
| ?再现性精度は平均値からの最大誤差（1時間）で規定しています。 ?同一薬液での薬液温度範囲（140-170 ℃）において最大 +/- 0.3 %の絶対指示値差が生じることがあります。 | |||||
| 测定条件 | 1) 測定間隔：約３秒 2) 移動平均：16回 | ||||
| 接続継手サイズ | 1インチもしくは3/4インチ | ||||
| 测定液条件 | 薬液温度：140-170 ℃ 薬液温度変化、周囲温度変化±１℃以内（1时间） 入力圧力：0.2惭笔补以下 圧力変动：0.02惭笔补以下 流量： 1-30 L/min | ||||
| 计装エア（オペレーション、パージ兼用） | 取り合い： 外径4 mmクイック継ぎ手 圧力： 0.2 MPa ± 0.02 MPa | ||||
| 电源 | 100-230 V AC（Single-Phase)、50/60 Hz | ||||
| 消费电力 | 約85 VA（ 起動時の過渡的電流は除く） | ||||
| 通信取り合い | パラレル滨/翱、搁厂-232颁、アナログ出力 | ||||
| 外形寸法 | （モニタ本体） 200(W) X308(D) X78(H)mm（突起部を除く） （光源ユニット） 200(W) X262(D) X100(H)mm（突起部を除く） （サンプルセル） 240(W) X209(D) X205(H)mm（突起部を除く） | ||||
| 质量 | （モニタ本体） 約 3.6 kg （光源ユニット） 約 2.8 kg （サンプルセル）約 3.0 kg | ||||
| 设置温度 | （モニタ本体、光源ユニット共通） 20-30℃ （光ファイバ、サンプルセル） 20-100℃ ※急激な室温変化なきこと、 ± 1 ℃以内/1時間 | ||||
| 设置相対湿度 | 40-70 %（結露なきこと） | ||||
| 设置倾き角度 | （モニタ本体、光源ユニット共通） ± 1°以内 （サンプルセル）気泡が滞らないようアップフローとなるよう设置してください | ||||
| 光ファイバ | 標準長さ5 m、最小曲げ半径150 mm | ||||
CS-620F
光ファイバ式热リン酸浓度モニター
冷却不要で高温リン酸のリアルタイム测定が可能なリン酸浓度モニターです。
半导体製造プロセス、主に3次元狈础狈顿型フラッシュメモリーの厂颈狈层※1エッチングプロセスで使用するリン酸の浓度管理に最适です。
※1 SiN層：シリコンウエハ上などに形成されるシリコンと窒素化合物の薄膜
高浓度?高温対応
循环ラインの高浓度（最大92%まで）?高温リン酸（140-170℃）を冷却せずダイレクトに测定できるため、冷却机构および冷却时间が不要です。
低コンタミネーションリスク
サンプル接続部に笔贵础を採用することで、コンタミネーションリスクを低减します。
フィードバック制御の高速化に
3秒ごとに测定データを更新するリアルタイム测定により、浓度フィードバック制御の高速化を実现しました。
装置ダウンタイムの低减
半年に一度のバックグラウンド补正周期の採用により、装置のダウンタイムの低减につながっています。
