电子デバイス产业クリーンルーム内の分子状汚染物质监视
| 项目 | 仕様 |
|---|---|
| 测定成分 | 大気中の炭化水素（颁贬4、狈惭贬颁、罢贬颁） |
| 测定レンジ | 0?5/10/25/50 ppmC 0?5/100 ppmCの間で最大レンジ比10倍5レンジ以内自動レンジ切替（オプション） 外部切替可（オプション） |
| 最小検出感度 | 5 ppmCレンジ：0.05 ppmC（2σ） 5 ppmCレンジ超：フルスケールの±0.5％（2σ） |
| 繰返し性 | フルスケールの±1.0％ |
| 直线性（指示误差） | フルスケールの±2.0％ |
| ゼロドリフト | フルスケールの±1.0％/日 |
| スパンドリフト | フルスケールの±2.0％/日 |
| 周囲温度変化に対する安定性 | 周囲温度范囲内5℃変化でドリフトを満足する |
| 応答时间 | 装置入口より90%応答 60秒以下 |
| 干渉影响 | 水分（25℃ 80%）にて：±0.2 ppmC |
| 试料ガス採取流量 | 約0.9 L/min |
| 表示 | タッチパネル式尝颁顿（バックライト付）有効桁数4桁?测定値?レンジ?アラ?ムなど |
| アラーム | 校正エラー、バッテリ?エラー、圧力エラー?精製器温度エラー、狈惭颁温度エラー、电源断など |
| 入出力 | 0?1 V（瞬時値および1時間平均値（積算値）または平均値の2系統） |
| 周囲温度?湿度 | 0?40℃ 相対湿度 85％以下 |
| 外形寸法 | 430 (W) × 550 (D) × 221 (H) mm |
| 质量 | 約33 kg |
注記：上記仕様はJIS に準拠しています。ppmC は単位ではなく記号として示したものです。
外形寸法図?他（単位：尘尘）
