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圧力制御机器

ガス供给システムの高性能化?コンパクト化へのご提案として、高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御机能を搭载したラインレギュレータや腐食性ガスに対応した排気圧コントローラなどをラインアップしています。

GR-511F
GR-511F

ウェハ里面圧力制御システム

GR-300 Series
GR-300 Series

ウェハ里面圧力制御システム

UR-Z700 Series
UR-Z700 Series

デジタルオートプレッシャレギュレータ

PV Series
PV Series

ピエゾバルブ

EC Series
EC Series

排気圧コントローラ

构成例?用途例