ガス供给システムの高性能化?コンパクト化へのご提案として、高性能圧力センサと高分解能ピエゾバルブ、デジタル制御机能を搭载したラインレギュレータや腐食性ガスに対応した排気圧コントローラなどをラインアップしています。
ウェハ里面圧力制御システム
デジタルオートプレッシャレギュレータ
ピエゾバルブ
排気圧コントローラ