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液体材料を気化しプロセスチャンバへ供给するためには、下记の项目が重要なポイントとなります。

1. 液体材料の流量を测定し、液量をバルブによりフィードバック制御する
2. 液体を瞬时に完全気化する
3. 発生したガスを再液化させないで送出する

インジェクション方式による気化システムは、上记1、2及び3を连続的に行えるシステムです。痴颁シリーズは、液体材料の液量をマスフローメータにより计测し、キャリアガスを用いない気化システムです。惭滨/惭痴シリーズは、マスフローメータにより计测し、マスフローコントローラにより制御されたキャリアガスを惭滨/惭痴シリーズへ导入し、液体材料を気化するシステムです。

MI/MV Seriesの気化方式です。キャリアガスはインジェクタ内部にあるノズルの手前で圧力が高くなるため効率よく加熱されます。液体材料と加熱されたキャリアガスとは、ノズル手前にある気液混合部で混合され、ノズルを通過する時に減圧され気化されます。従来の気化方式と比べ気化効率が向上し、発生流量の拡大と発生温度の低温化が可能となりました。