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液体用微少マスフロー尝贵-贵/尝痴-贵シリーズの流量センサは、毛细管に接する电子冷却素子（ペルチェ素子）と复数の温度検出素子から构成されています。液体が流れると流量に応じた温度上昇（△罢）を検出し、流量として表示します。加热方式に比べ、冷却方式の利用により低沸点液体の流量测定が可能になるとともに、溶存ガスの再放出（気化）の影响を受けずに、正确な流量计测が可能です。

マスフローコントローラ：尝痴-贵シリーズは、マスフローメータ：尝贵-贵シリーズにピエゾアクチュエータバルブを加え、比较制御回路を内蔵した液体用マスフローコントローラです。流量设定信号と流量出力信号を比较し、両信号が一致するようにバルブの开度を自动的に制御します。フィードバック制御のため、外的条件の変化に対する流量変化がなく、精度良く安定な制御が可能です。コントロールバルブにはピエゾアクチュエータバルブを使用し、安定性にすぐれ発热もなく、低沸点の液体の流量制御にも最适です。