温度が上昇すると、物质は固体から液体に、液体から気体にと状态が変化します。気体に热や电気エネルギーを加えると、気体の分子が解离して原子になり、さらに温度が上昇すると原子核のまわりを回っていた电子が原子から离れ、(この现象を「电离」といいます)中性分子とプラスイオン、マイナスイオンが混在した非常に活性化した状态になります。これが物质の第4の状态とも言われる「プラズマ」です。
身近なところでいえば各种ライト、炎や雷もプラズマであり、宇宙空间の99%以上がプラズマであるといえます。
このように、プラズマとは我々の生活とは切り离せない存在なのです。
プラズマは他の状态にくらべ、非常に反応性が高くなっている状态です。この特性を活かして、プラズマは様々な产业に活用されています。
例えば、ナノメートル(10亿分の1メートル)単位の穴や沟を掘ることや、膜をつけることに适しています。反応性の高い状态のメリットとして、各种の処理を素早く进めることができ、半导体集积回路の生产工程で多用されています。半导体以外にも微细加工、薄膜合成、表面改质、除害、杀菌?灭菌?消毒など产业の各分野で活用されています。
堀场エステックではプラズマのコンディション変动を発光の変化として捉え、最适な条件をモニタすることで歩留まり向上、品质向上を达成することができます。
プラズマ発光モニタ贰痴-140颁はエッチングガスや副生成物由来のプラズマ発光をモニタすることにより、その変化からエッチングのエンドポイントをリアルタイムに検出することが可能です。また多彩なソフトウェアを组み合わせて使用することで....