Micropole System QL series
四重极形质量分析计
Micropole systemは世界最小クラスの質量分析計です。９つの四重極部で構成される独自構造のセンサは、ユーザ自身で簡単に交換可能、センサに付随するパラメータを入力するだけで校正は必要ありません。一般的な質量分析計よりも低真空（高圧）領域で動作し、追加の設備が不要です。真空チャンバのコンディション管理やプロセスモニターに最適です。
- 业界最小クラス
他社比20分の1の大きさ、センサ部わずか5肠尘のサイズ。装置组み込みに最适です。 - 独自构造センサ
16本の电极ロッドによる9つの四重极部を备え、最小サイズながらも高感度を実现。 - 低真空（高圧）动作
全圧0.5Paまでの計測（2-65 m/zセンサの場合）ならば、追加で差動排気システムを準備する必要がありません。 - ユーザーによるセンサ交换が可能
机器の分解を必要とせずに、校正されたフィルターを现场で简単に交换できます。 - 通信
付随する専用ソフトウェアをインストールした1台の笔颁から搁厂-485通信を介して、8台まで接続可能です。また、装置组み込みに适したアナログ入出力も备えています。 - 専用ソフトウェア
QL-SG02向けに開発されたユーザーフレンドリーなMicropole ScannerTM 2ソフトウェアは、QL-SG02制御、データの取得?可視化?分析が可能です。
ユーザーメリット
测定原理
四重极形质量分析计のセンサはイオン源、質量フィルター部、イオン検出部からなります。フィラメントから放出された熱電子がガス分子と衝突しイオン化され、フィルター部に向かって加速されます。フィルター部では、四重極ロッドに直流成分と交流成分が重畳された電圧が印加され、それらの値に応じて四重極ロッド中に形成された電場を通過出来るイオンの質量電荷比が決まります。通過したイオンは検出部に到達し、電流信号として計測され、電圧を走査する事で、質量スペクトルが得られます。
MICROPOLETM&苍产蝉辫;分析计
惭滨颁搁翱笔翱尝贰分析计に搭载されるセンサ（惭笔础）の一番の特徴は、高精度なガラス加工技术を用いた９つの四重极形を集积した构造です。一般的な四重极形センサと比べて、感度を维持しながらも、世界最小サイズを実现しています。校正済みのセンサはプラグイン方式で简単に交换可能です。
アプリケーション
チャンバーコンディションモニター
四重极形质量分析计は、真空チャンバーの残留ガス分析で多くの実績があります。特にメタルのスパッタプロセスでは、成膜中の酸素や水分の残留ガスを低減する事が重要であり、一度チャンバーを大気解放してしまうと、それらのガスを低減させるのに時間がかかります。四重极形质量分析计はチャンバーの状態を監視するのに大変役立ちます。
プラズマプロセスモニター
プラズマプロセスの状態をリアルタイムに観察する一つの方法として、四重极形质量分析计が役立ちます。透明電極のスパッタ成膜プロセスでは、成膜中の酸素系ガスを制御する事が膜の透明性と導電性の制御に重要であり、またプラズマエッチングプロセスにおける動的な変化を観察する事が可能です。
