外形寸法図?他（単位：尘尘）
IR-300 Series
ガス浓度モニタ
バブリング供給ライン用インラインガス浓度モニタ。材料ガスの安定供給に。
LED製造プロセスや光デバイス製造プロセスなどで幅広く採用されているMOCVD（有機金属気相成長法）。このMOCVD装置には液体/固体材料が利用され、一般的にはバブリング方式により気化ガスとしてチャンバに供給されます。この材料ガス供給ラインにおいて、安定した成膜プロセスの実現のため、リアルタイムのガス浓度モニタリングが重要とされています。ガス浓度モニタ IR-300 Seriesは、MOCVD装置における材料ガス供給ラインに導入され、インラインの高速ガス浓度モニタリングを可能としました。材料ガスの安定供給をサポートします。
- リアルタイムモニタリング
ガス浓度変化に追随する応答速度と繰り返し性 - 复数検量线机能(オプション)
最大3种类の测定ガス/フルスケール浓度(=検量线)が搭载可能 - マルチディスプレイ机能
浓度モニタリングや供给ラインの情报を现场で确认するため、本体上部のマルチディスプレイとモード尝贰顿の组み合わせによるマルチディスプレイを搭载。 - 通信机能
顿别惫颈肠别狈别迟通信およびデジタル/アナログ信号に対応した通信方式をサポート - コンパクト＆シンプル设计
両間サイズ124 mm 取り付け姿勢も制限がないコンパクト設計です。
IR-300 では、高輝度?長寿命な光源の採用と、電気信号処理の高速化により、応答速度と繰り返し性が向上しました。（当社従来比２倍以上）これによりガス濃度変化に追随する連続インラインモニタリングが可能となりました。
※なお、安定したモニタリングのため、测定前にはゼロ校正（1回／日以上）の実施を推奨します。
惭翱颁痴顿材料测定例
■测定フロー
■供给材料浓度変化のモニタリング
背圧调圧器でバブラ内の圧力を调整することにより変化する供给材料浓度をリアルタイムにモニタリングした例を示します。
