ダイアフラムの両侧に圧力差を加えた时に生じる膜の変形から圧力(全圧)を知る真空计です。
ダイアフラムに受ける圧力を测定しているため、気体の种类による感度の差がありません。
测定原理
真空计はダイアフラムによって基準室と测定室に分けられ、基準室内は固定された电极が设置されており、真空に维持されています。
测定室の圧力が変化することにより、ダイアフラムがたわみます。
电极とダイアフラムの距离が変化することにより、これらの间に発生する静电容量も変化します。この静电容量の変化を计测し、圧力値に换算することにより、测定室内の圧力値を测定します。