安定したプロセスを行う為にはプロセス前后におけるチャンバ内の残留ガスモニタリングや正确に真空度を计测する机器が必不可欠です。堀场エステックのコンパクトプロセスガスモニタはプロセスチャンバ内の残留ガスや不纯物を计测し最适なプロセスの维持、品质、歩留り向上に贡献します。また生产工程ではかかせない圧力计测?管理に堀场エステックの隔膜真空计はダイヤフラム温调によりセンサ部へのデポを軽减。チャンバ内の不纯物にも耐食性に优れた狈颈合金ダイヤフラムを採用しているので安心です。
総合分析機器メーカ?堀場製作所の分析技術は、非分散型赤外線吸収法（NDIR法）ガス分析手法で化合物半导体、自动车、理化学機器、環境計測機器等幅広い分野で優れた実績があります。堀場エステックのガス浓度モニタはこのノウハウを製品に応用しています。
标準ガス発生机で培った技术をベースに汎用性と高精度を兼ね备えたガス流量计精密膜流量计は本体体积管ユニットに搭载されたガラス管中に石鹸膜を作り、导入ガスによって石鹸膜が移动する时间を计测、マイコンにより自动补正を施す製品です。
