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マスフローコントローラは、流体（ガス?液体）の质量流量を计测し制御を行います。质量流量での计测を行うため、使用环境（温度?圧力）の补正が必要ありません。本体には、流量センサ、流量制御バルブ、フィードバック回路等を搭载し、外部より与えられる任意の流量设定信号に応じた流量を自动制御します。
堀场エステックは设立より培った高精度流量制御技术をマスフローコントローラへ融合し国产初の量产マスフローコントローラ製品化を実现しました。