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対象製品：

现在调整中です。
恐れ入りますが、対象製品については 认定校正サービス専用アドレス からお问合せください。

础.下记のマスフローコントローラ、マスフローメータ、流量计です。

• 厂罢贰颁製マスフローコントローラ、マスフローメータ

   ただしサポート終了品の場合は、周辺機器がないために校正できないことがあります。

• 他社製マスフローコントローラ、マスフローメータ

   電源、接続ケーブル、表示器またはデジタル通信を行って流量瞬時値を表示?出力できるもの

• 他社製流量计

   流量瞬時値を遠隔で表示?出力できるもの。電源、接続ケーブル、表示器またはデジタル通信によりデータ表示を行うPCを必要とする場合があります。

注1）ガス系の接続継手が现在贩売されていないものの场合は対応できないことがあります。半导体等クリーンルーム内で使用しているもの以外の场合には、ご相谈ください。
 

対応可能范囲：

窒素 (N?) ガス、5 mL/min～50 L/min (0 °C, 101.325 kPa換算、{5 sccm～50 slm}) です。認定を受けた範囲については下表及びリンク先のをご覧ください。
狈痴尝础笔からの认定范囲には他のガスもありますが、こちらは準备の上顺次校正可能としていきます。

注2）MCG継手、JSK継手、Super JSK継手などは入手困難なため対応できかねます。
 
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