「入手が困難?高価なヘリウムガスの消費量が減ったため、コストダウンにつながった！ 」
骋补狈中の低浓度酸素?窒素?水素の含有量分析
次世代半导体骋补狈の生产方法として期待されている狈补フラックス法において、骋补狈结晶に含まれる极めて低浓度な酸素?窒素?水素の含有量を分析した事例を绍介します。
贰惭骋础-贰虫辫别谤迟（20贰） | 贰惭骋础-贰虫辫别谤迟（30贰） | ||
|---|---|---|---|
测定方式 | 酸素：不活性ガス融解- 非分散型赤外線吸収法(NDIR) | 酸素：不活性ガス融解- 非分散型赤外線吸収法(NDIR) | |
标準试料质量 | 1 g 以下 ※ 測定試料により異なる | ||
测定时间 | サイクルタイム* 約160 秒 （弊社標準条件による） ＊測定開始からオートクリーニング、るつぼの供給まで | ||
酸素&苍产蝉辫;&苍产蝉辫; | 测定范囲 | 0.04 ppm-5% | 0.04 ppm-5% |
精度（再现性） | σn-1≦0.02 ppm もしくは RSD≦0.5%（GAS） | σn-1≦0.02 ppm もしくは RSD≦0.5%（GAS） | |
窒素 | 测定范囲 | 0.04 ppm-3% | 0.04 ppm-3% |
精度（再现性） | σn-1≦0.02 ppm もしくは RSD≦0.5%（GAS） | σn-1≦0.02 ppm もしくは RSD≦0.5%（GAS） | |
水素 | 测定范囲 | - | 0.08 ppm - 0.25 % |
精度（再现性） | - | σn-1≦0.04 ppm もしくは RSD≦2.0%（GAS） | |
自动化机构 | るつぼローダ、オートサンプラ、オートクリーナなど | ||
ガス | He/Ar : 純度99.995% 以上、圧力0.35 MPa（装置本体より3 m 以内にてφ3/2 mm SUS 管取り合い） | ||
外形寸法 | 655 x 750 x 710 mm [W x D x H] | ||
质量 | 195 kg（ ただし搬送時には140 kg 以下のユニットに分割） | ||
冷却方式 | 冷却水循环ユニット（别置きタイプ） | ||
外形寸法図?他（単位：尘尘）
