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D700T

ベストパフォーマンスマスフローモジュール

顿700罢は、クリティカルな半导体製造プロセス用に设计されたベストパフォーマンスマスフローモジュールです。圧力ベースの流量计测?制御技术を採用しており、业界をリードする再现性と正确なパフォーマンスを提供します。さらに、独创的な特许登録済みの高度な流量制御アルゴリズム?ツインバルブ构造を搭载しており、ガス供给システムが抱える复数の课题を解决することが可能です。