电子デバイス产业クリーンルーム内の分子状汚染物质监视
| 项目 | 仕様 |
|---|---|
| 测定成分 | 大気中のアンモニア(狈贬3) |
| 形式 | 大気汚染监视用NOx 濃度測定装置: APNA-370 コンバータユニット： CU-2 |
| 测定レンジ | 0 ? (0.1/0.2/0.5)/1 ppm または 0 ? 1/2/5/10 ppm |
| 最小検出感度 | 5 ppb |
| 繰返し性 | フルスケールの±2% |
| 直线性(指示误差) | フルスケールの±2% |
| ゼロドリフト | フルスケールの±2%/日 |
| スパンドリフト | フルスケールの±2%/日 |
| 応答时间 | 颁鲍-2入口より90%応答 300秒以下 |
| 试料ガス採取流量 | 約3.0 L/min |
| 补助ガス | なし |
| 表示 | 测定値、アラーム |
| アラーム | APNA-370: 校正エラー、バッテリーエラー、流量エラー、圧力エラー、コンバータ温度エラー、電源断 |
| 入出力 | 0 ? 1 V (瞬時値および積算値または平均値の2系統) 接点入出力(レンジ、外部リセット、テレメータ故障、アラーム) RS-232C (オプション) |
| 周囲温度?湿度 | 0 ? 40°C?相対湿度 85%以下 |
| 外形寸法 | APNA-370: 430 (W) x 550 (D) x 221 (H) mm CU-2: 430 (W) x 450 (D) x 310 (H) mm |
| 质量 | APNA-370: 約21 kg CU-2: 約20 kg |
外形寸法図?他（単位：尘尘）
