形式 | SLIA-300 | |
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电源 | 100?240V AC 50/60Hz | |
设置条件 | 屋内 周囲温度10?35℃ 湿度85%以下 | |
外形寸法 | 580(奥)×375(贬)×500(顿)尘尘 | |
质量 | 1点计:约41办驳(以降、测定点数1点追加に対して1办驳増) |
※本仕様书に记载の内容は、改良のために予告なく変更することがあります。
半导体/FPDプロセス向超純水管理用高感度シリカモニタ
半导体/FPDプロセスにおいて製品精度や歩留まりに大きな影響を与える、超純水中のシリカ濃度。その1μg/L(1ppb)オーダーの測定要求に確実にお応えします。デスクトップ型のコンパクトボディで、測定範囲全域における高感度測定を実現しました。高速応答性や自己診断機能など、充実の基本性能と高感度な新性能で、半导体/FPD製造の純水プロセスを力強くサポートします。