カーボンセンサ导电率计
半导体製造やFPD製造工程の薬液?純水回収に最適です。耐薬品性の2極式カーボンセンサを採用することで薬液の導電率を測定し、工程中の濃度管理や薬液の希釈管理、また超純水のリサイクル監視などにも活躍します。
耐薬性に优れたセンサ
耐薬品性の2極式流通型カーボンセンサを採用しているので、半导体洗浄プロセスに使用される数多くの薬液種に対応可能です。
金属コンタミフリー
特殊カーボンを极材に使用しているため、金属コンタミの溶出の心配がありません。
ワイドレンジ対応
最大1000μ厂/肠尘まで测定可能です（温度补偿する前の导电率の测定范囲）。
浓度换算机能
薬液浓度と导电率の関係、および温度特性を入力することで浓度换算が可能です。特に低浓度の薬液の希釈管理には最适です。
| 型式 | HE-960LC | ||
|---|---|---|---|
| 测定レンジ | 0 - 1000 μS/cm (セル定数0.1/cm設定時)* | ||
| 0 - 10000 μS/cm (セル定数1.0/cm設定時)* | |||
| 繰り返し性 | セル定数 | 0.1/cm | 1.0/cm |
| 0 - 1000 ?S/cm | +/- 0.5% FS | - | |
| 0 - 2000 ?S/cm | - | +/- 0.5% FS | |
| 2000 - 10000 ?S/cm | - | +/- 0.5% FS | |
| 0.0 - 100 deg.C | +/- 0.5 deg.C | ||
*温度补偿する前の导电率の测定范囲
