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• PI機能 （Pressure Insensitive）
  急激な圧力変动においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭载し、各ガスラインの圧力制御机能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実现します。
• マルチガス?マルチレンジ?マルチプレッシャー机能
  ユーザーサイドで「ガス种」、「フルスケール流量」、「供给圧力レンジ」の変更が可能。予备品低减など、コスト削减に贡献します。
• 自己診断機能　G-Life　(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
  短时间：3秒以下（迟测辫颈肠补濒）で自己诊断が行え、スループットの向上に贡献します。
• 高精度
  ±1% S.P.を実現
• 高速応答
  応答速度：0.8秒以内
• ワイドレンジ制御
  10 SCCM~50 SLMとワイドな制御範囲
• 豊富な通信方式
  デジタル/アナログ通信モデル、顿别惫颈肠别狈别迟?通信モデル、贰迟丑别谤颁础罢?通信モデルをラインナップ
   

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