蓝鲸体育直播

VG-200S

キャパシタンスマノメータ　隔膜式真空计

プロセス中の圧力计测は、半导体、フラットパネルディスプレイ、太阳光発电パネル、ハードディスク、コーティング等の多くの产业で必要不可欠な技术です。キャパシタンスマノメータはダイアフラムと呼ばれる隔膜の両侧の圧力差から生じた変位量を対抗电极との静电容量で计测し圧力に换算します。他の圧力计测方法と比べて、キャパシタンスマノメータは下记の特徴を有します。

絶対圧力计测
高精度?优れた安定性
ガスの种类に依存しない计测

蓝鲸体育直播のキャパシタンスマノメータ VG-200Sは、自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計。独自の电极构造により高精度?高安定を実现しています。

事业セグメント: 半导体

製品分类: Dry Process Control

製造会社: 蓝鲸体育直播 STEC, Co., Ltd.

自己温调型で最小クラス
独自の电极构造により高精度?高安定を実现
ダイヤフラムを含む接ガス部に厂鲍厂316尝を採用
非加热、55℃温调、100℃温调を选択可能
ワンプッシュRe Zero
供給電源　±15VDC、24VDC 対応
CE、RoHS 対応

Model	VG-211S		VG-221S
F.S. 測定レンジ	133.32Pa (A)	1.3332kPa (A) 13.332kPa (A) 133.32kPa (A)	133.32Pa (A)	1.3332kPa (A) 13.332kPa (A) 133.32kPa (A)
センサ部温調温度 *1	常温 (ヒーターなし)		55°C / 100°C
精度 *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
分解能	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
ゼロ温度係数	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% F.S. /°C	0.0025% F.S. /°C
スパン温度係数	0.05% R.S./°C	0.03% R.S./°C	0.03% R.S. /°C	0.02% R.S. /°C
応答时间	< 60msec
使用温度範囲 *3	10-50°颁
接ガス部材料	SUS316L
加圧限界	300kPA (A)	350kPa (A)	300kPa (A)	350kPa (A)
出力信号	0-10VDC 負荷抵抗: 10kΩ以上
入出力コネクタ	D-Sub 15pin
电源电圧	+15VDC±5％、0.1A max. -15VDC±5％、0.1A max		+15VDC±5%, 0.6Amax. -15VDC±5%, 0.6Amax.
	24VDC±5%, 2.4W max.		24VDC±5%, 22W max.
暖気时间	15分		60分 (55℃温調タイプ) 120分 (100℃温調タイプ)
オープンコレクタ出力	定格電圧: 30V　　定格電流: 50mA
Re-Zero 入力	無電圧接点入力接点開放電圧: 13V 最大接点電流: 1.3mA
標準継手 *4	KF16, 1/2inch VCR Female, ICF34, 1/4inch VCR Female