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CRITERION DZ-100 Series

超薄型マスフローモジュール

差圧検出方式を採用した10mm幅の最先端プロセス向け高性能マスフローモジュールです。±0.5% S.P. の高精度と応答速度0.4秒以内を実現しています。

新製品のDZ-107 Series（贰迟丑别谤颁础罢?通信モデル）では10mm幅の薄さを維持しつつ、フルスケール流量の最大化（20SLM）、およびガスデータの内部搭載による柔軟な運用性を実現しました。

事业セグメント: Semiconductor
製品分类: Fluid Control
製造会社: 蓝鲸体育直播 STEC, Co., Ltd.
  • 高速応答
    応答速度：0.4秒以内
  • 軽量化?コンパクト
    幅10尘尘、高さ99尘尘（顿窜-114厂）
  • 高精度
    ±0.5% S.P.を実現
  • 集积化対応
  • 通信方式
    顿别惫颈肠别狈别迟?通信モデル
    贰迟丑别谤颁础罢?通信モデル
  • 一次侧供给圧力范囲の拡大
    110～900办笔补（顿窜-114厂）
  • マルチガス?マルチレンジ?マルチプレッシャー机能
    ユーザーサイドで「ガス种」「フルスケール流量」「供给圧力レンジ」
    の変更が可能。予备品低减など、コスト削减に贡献します。

 

?「CRITERION 性能について」&苍产蝉辫;はこちら

 


 

外形寸法図（単位：尘尘）

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