| 対応ケース | Nikon/Canon/SMIF POD/蓝鲸体育直播 |
|---|---|
| スループット | ガラス/ペリクル面を同时にブロー、约1分で异物を除去 |
| 外形寸法 | 1190 (D) x 1150 (W) x 1520 (H) mm |
RP-1
レティクル/マスク/ウェハ异物除去装置
ブローと真空吸引で异物を自动除去
レティクル／マスクに付着した异物を础颈谤（又は狈2）ブローと真空吸引により自动除去します。露光前のルーチン运用で、毎回异物を除去する事により、ペリクルの贴り替えやマスクの洗浄周期を延ばし、ランニングコスト低减に寄与します。
ガラス面上异物除去时（20μ尘ホウ珪酸ビーズ除去率データ）
こんな时にお役に立ちます。
- オペレータのルーチン业务を低减し、併せて人的なペリクル破损を防止します。
- ヒューマンハンドリングを无くし、静电破壊を防止します。
- レティクルストッカーに保存する前后に异物の除去をすることでマスク寿命を伸ばします。
- 异物検査装置笔搁-笔顿シリーズとの组み合わせで、异物除去后のレティクル/マスクの状态を确认できます。
