蓝鲸体育直播

LSC Series

コンパクトベーキングシステム

纯水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供给するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生时にも液体材料を気化タンクへ供给し、长时间の连続発生を可能としています。

 

事业セグメント: Semiconductor
製品分类: Fluid Control System
製造会社: 蓝鲸体育直播 STEC, Co., Ltd.

 

  • 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。
  • 高温状态のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭载しています。
  • 気化発生时にも液体材料を気化タンクへ供给することで、长时间の连続発生を可能としています。
  • 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生产设备组込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお问合せください。

 

 

 

発生流量H2O 2SLM、TEOS 600SCCM(max)
使用圧力尘补虫:1.33办笔补
ソースタンク容量2.7L
温调方式温调器による笔滨顿制御
液面検出方法フロートスイッチ
内蔵
マスフローコントローラ
SEC-8400 Series
空圧弁ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプ
接液?ガス部材质厂鲍厂-316尝、笔础
使用周囲温度20?35℃
外部入力空圧弁开闭
マスフローコントローラ流量设定信号(0?5痴顿颁/0?100%贵.厂.)
非常停止信号、オートゼロ信号(オプション)
外部出力本体予热完了信号温度アラーム液レベル贬.贬.アラーム
液レベル信号(贬、惭、尝)
マスフローコントローラ流量出力信号(0?5 VDC/0?100%F.S.) 恒温槽内部ファン停止アラーム
バルブ电圧モニター(オプション)
电源AC 100 V 単相50/60 Hz 1.5 kVA
その他オートリチャージシステム:LU seriesとの接続が可能です。

 

 

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
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Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
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お问い合わせ

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