お问い合わせ
拠点情报
大流量ベーパライザ
流路配管とヒータをアルミニウム合金で鋳込んだ高い気化効率の大流量ベーパライザです。
? 高気化効率?熱伝導の良いアルミニウム合金でステンレス配管とヒータを鋳込んだ構造です。 ? 詰まり、腐食に強い?ベーパライザ内部の接液部部品は、ステンレス配管のみです。 ? 高温使用可能?ベーパライザの設定温度は室温+5℃~300℃(常時使用可)です。 ? 濃度安定:新開発の定量化ノズルにより液流量をベーパライザに安定注入します。
【主な仕様】
■対応机种 H2翱/滨笔础/罢贰翱厂/厂颈颁濒4 他
■発生流量(ガス流量) H2O : 10g/min (12.4SLM) IPA : 30g/min (11.1SLM) TEOS : 50g/min (5.3SLM) SiCl4 : 130g/min (17.1SLM)
* 項目は必ずご記入ください。