蓝鲸体育直播

LE Series

大流量ベーパライザ

流路配管とヒータをアルミニウム合金で鋳込んだ高い気化効率の大流量ベーパライザです。  

 

事业セグメント: Semiconductor
製品分类: Fluid Control
製造会社: 蓝鲸体育直播 STEC, Co., Ltd.

? 高気化効率?熱伝導の良いアルミニウム合金でステンレス配管とヒータを鋳込んだ構造です。
? 詰まり、腐食に強い?ベーパライザ内部の接液部部品は、ステンレス配管のみです。
? 高温使用可能?ベーパライザの設定温度は室温+5℃~300℃(常時使用可)です。
? 濃度安定:新開発の定量化ノズルにより液流量をベーパライザに安定注入します。

 

【主な仕様】

■対応机种
H2翱/滨笔础/罢贰翱厂/厂颈颁濒4 他

■発生流量(ガス流量)
H2O : 10g/min (12.4SLM)
IPA : 30g/min (11.1SLM)
TEOS : 50g/min (5.3SLM)
SiCl4 : 130g/min (17.1SLM)

 

Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories
Liquid Source Vaporization and Supply in Research and Testing Laboratories

お问い合わせ

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